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上海新陽:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無EUV光刻膠計劃

2021-09-23
來源:半導體行業觀察
關鍵詞: 光刻膠 上海新陽

  近日,有投資者在投資者互動平臺向上海新陽提問,公司由于研發euv光刻膠的打算?krf光刻膠何時批量生產?

  上海新陽方面回應道:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無EUV光刻膠研發計劃。

  早在今年六月底,上海新陽就發表了一個公告。公告指出,上海新陽半導體材料股份有限公司(以下簡稱“公司”)自主研發的KrF(248nm)厚膜光刻膠產品近日已通過客戶認證,并成功取得第一筆訂單。

  按照他們的說法,KrF(248nm)厚膜光刻膠產品的開發和產業化是公司第三大核心技術——光 刻技術的重要方向之一,本次產品認證的通過及訂單的取得,標志著“KrF(248nm) 厚膜光刻膠產品的開發和產業化”?取得了成功,為公司在光刻技術領域目標的全面完成奠定了堅實基礎。

  新陽表示,光刻膠材料是集成電路制造領域的重要關鍵材料,廣泛應用于350nm-14nm甚至?7nm?技術節點的集成電路制造工藝。隨著國內晶圓廠建設的不斷增多,以 及國外光刻膠巨頭產能受限,供需緊張,國內對光刻膠產品的需求也將快速增長, 公司光刻膠產品的訂單取得意義重大,將對公司該類產品的認證及銷售產生積極 的作用,有利于公司業務的長期發展。

  日本絕對領導的光刻膠市場

  據智研咨詢統計,2019年全球光刻膠市場規模預計近90億美元,自2010年至今CAGR約5.4%。預計該市場未來3年仍將以年均5%的速度增長,至2022年全球光刻膠市場規模將超過100億美元。

  根據下圖,我們可以了解到低端的g/i-line的占總的半導體光刻膠市場份額31%,高端的KrF、ArF-i光刻膠的市場份額最大,達到45%,基本是被日本的企業壟斷,所以讓日本在半導體領域有極大的控制能力。

  以 ArF 光刻膠產品為代表的先進光刻膠以及工藝的主要技術和專利都掌握在國外的企業與研究部門,如日本的信越化學(Shin-Etsu Chemical)、合 成橡膠(JSR)、東京應化(TOK)、住友化學(Sumitomochem)、富士膠片 (Fujifilm)和美國陶氏(Dow Chemical Company),其中尤其是日本企業,占有率極高。在KrF光刻膠方面,日本也是占了主導地位,在這領域有全球5%市場占有率的韓國企業和11%的美國企業。

  數據來源:網絡公開資料,富途證券整理

  南大光電表示,本項目已作為我國“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”的核心 部分被列入我國國家科技重大專項,受到國家科技部的高度支持。作為對 提升國家綜合國力有重大推動作用的戰略性產業,ArF(干式和浸沒式)光 刻膠是我國集成電路產業的關鍵原材料,與國家經濟及社會發展的需求緊 密結合。本項目不僅能夠極大提高我國本土企業的自主創新能力,更重要 的是通過重大關鍵技術的突破,將帶動和提升我國整個電子工業體系的技 術水平和國際競爭力。項目符合國家的產業政策,按國家基本建設程序進行實施,項目的建設是可行的。




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